無塵室除污

無塵室是半導體製程中的重要設施。它對空氣中的懸浮微粒污染很敏感，並且易於受化學物/特殊氣體洩漏到無塵室環境中而污染。若不採取措施減輕此類暴露，隨著時間過去，這種情況會因交叉污染而滲透到整個無塵室環境中。在這種環境的污染下，將可能導致生產的產品缺陷和/或因產量低下而造成損失。不幸的是，這些原因往往難以追蹤。

為了使無塵室在污染事件發生後恢復到原來設計的環境參數，復原工作需要對具體的無塵室環境參數有透徹的瞭解，並具有高水準的精密除污經驗/知識。

BELFOR專注於無塵室精密除污，累積了10餘年成功淨化各行業無塵室的經驗。

包括半導體製造、製藥、光學、精密機械和精密模具。